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TruMicro 6000 系列

我们的高性能飞秒激光器——助您在批量生产中实现极高通量与去除率

30 - 200 W 激光平均功率
257 nm、343 nm、515 nm、1030 nm 波长
< 500 fs, < 850 fs, < 5 ps 脉宽
2 mJ(1 MHz 时) 最大脉冲能量

产品款型 TruMicro 6000 系列 平均激光功率 光束质量 (M²) 波长 脉冲宽度 最大脉冲能量 脉冲频率
TruMicro 6020
200 W < 1.3 ( 可选 < 1.2) 1030 nm < 850 fs, < 5 ps 200 µJ 在 1 MHz 时, 2 mJ 在 100 kHz 时 2000 kHz (single pulse picking)
TruMicro 6220
100 W 515 nm < 850 fs 100 µJ 频率 1000 kHz 2000 kHz
TruMicro 6320
30 W (< 500 fs) 或, 62.5 W (< 850 fs) < 1.3 (可选 < 1.2) 343 nm < 500 fs 或, < 850 fs 37.5 µJ 在 800 kHz 时(30 W)或, 62.5 µJ 在 1 MHz 时(62.5 W)

高脉冲能量

– 满足严苛工艺和大批量生产需求

TruMicro 6000 系列激光器专为需要高脉冲能量的工艺而打造。您可以根据具体应用需求,选择不同波长、脉宽短至飞秒级、脉冲能量最高达 2 毫焦耳的激光器型号。该系列激光器可满足广泛的应用需求,从电池箔材的高速切割、涂层制动盘的雕刻,到厚度高达 10 mm 的玻璃材料去除,均能轻松应对。在批量生产中,它们同样表现出色:凭借较高的平均功率,可实现所需的生产效率;坚固耐用的结构设计和出色的稳定性,也使其在众多工业应用中经受住了全天候连续运行的考验。

TruMicro 6000 系列的核心优势

– 其产品亮点一览
高脉冲能量带来更强劲的性能,加快生产速度
高脉冲能量带来更强劲的性能,加快生产速度

TruMicro 6000 系列的脉冲能量高于 TruMicro 2000 系列。在脉冲频率不变的情况下,即可提高生产速度,让晶圆、PCB 等大尺寸工件也能高效加工。

多种波长可选,满足各类材料的加工需求
多种波长可选,满足各类材料的加工需求

TruMicro 6000 系列提供多种波长选择,可根据待加工材料灵活匹配。红外激光适用于陶瓷和玻璃;绿光激光尤其适合黄铜、铜等有色金属,以及有机材料。紫外激光适用于薄膜、塑料和 PCB,深紫外激光则适用于薄膜堆叠结构与多层薄膜。

超短脉冲精密加工,减少材料损伤
超短脉冲精密加工,减少材料损伤

TruMicro 6000 系列采用超短脉冲,在极短时间内将能量传递至材料。几乎不产生热影响区,实现无变形、无烟熏痕迹的冷加工,省去繁琐的后处理。每个脉冲都精准去除材料,避免能量在部件内积聚。让您精确控制材料剥蚀量,持续获得稳定一致的加工效果。即使是铜等高反射材料,或透明材料,也能稳定完成加工。

脉冲参数精准可控,灵活应对不同任务
脉冲参数精准可控,灵活应对不同任务

脉冲能量和脉冲频率,均可根据材料与应用需求灵活调整。每个脉冲的能量都经过稳定控制,确保加工结果一致。飞秒级短脉冲有助于降低热输入。加工过程中还可调整脉冲频率,例如匹配激光加工头的进给速度。

脉冲频率按需调整,复杂轮廓也能干净成形
脉冲频率按需调整,复杂轮廓也能干净成形

借助 Advanced Pulse on Demand 功能,TruMicro 6000 系列可在需要的时刻精准触发每个激光脉冲。即使进给速度发生变化,例如激光束在曲线处移动速度减慢时,该功能也能保持脉冲间隔恒定。这样可以避免脉冲相互重叠,并以亚微米级的空间分辨率,沿指定轮廓精准布置激光脉冲。即使加工短小复杂的轮廓,需要频繁变速和转向,也能获得均匀一致的效果,例如显示屏缺口等精细切口。

灵活切换运行模式,实现多样加工效果
灵活切换运行模式,实现多样加工效果

您可根据应用选择激光脉冲的输出方式,从单个超短脉冲,到准连续波(QCW)模式下的高重复频率输出。在脉冲串模式下,可将多个超短脉冲组合成紧凑的脉冲组,并精确控制脉冲的时间序列和能量分布。例如,您可以精确控制材料表面的局部熔化,或更高效地烧蚀材料。尤其是对于金属加工,这为根据不同应用需求有针对性地优化加工工艺提供了更多可能。

其它优点

  • 兼容主流现场总线,集成轻松,扩展灵活

    TruMicro 6000 系列提供适用于各类主流现场总线系统的接口,让激光器轻松接入自动化生产的中央控制系统。减少布线工作,也让后续设备扩展更加便捷。

TruMicro 6000 系列的应用亮点

– 您将获得的收益

多种材料、大批量生产、始终如一的加工精度——TruMicro 6000 系列正为此而生。从 PCB 薄膜切割、陶瓷钻孔与烧蚀,到半导体制造用分离层切割,应用范围广泛。

精密切割超薄箔材

精密切割超薄箔材

快速、干净地切割超薄电池箔材并不容易:切边可能产生毛刺,铜箔还可能因反射受到热损伤。

TruMicro 6000 系列激光器通过超短、高能量脉冲,将热输入保持在较低水平。即使材料极薄,也能实现干净的加工效果,避免烧损或剥离。既延长产品使用寿命,也降低材料成本。

玻璃切割,边缘光洁

玻璃切割,边缘光洁

切割折叠屏等产品所用的玻璃时,需要获得光滑、低粗糙度的切边,而这往往意味着繁琐的后处理。

TruMicro 6000 系列激光器搭配 TOP Cleave 光学系统,可在一次扫描中完成切割路径上的材料改性,速度可达每秒数米。加工粗糙度 < 1 µm,无需后处理。

中介层微孔加工

中介层微孔加工

在微芯片的玻璃中介层中,"玻璃通孔"(TGV)用于实现不同层之间的电连接。为此,需要高速、精准地加工数百个孔或通道。

TruMicro 6000 系列兼具超短脉冲与高脉冲能量,还支持生成脉冲串(Burst)。搭配 TOP Cleave 光学系统,只需一次激光发射,即可在材料内部形成贯穿整个厚度的改性通道。随后,可通过选择性激光蚀刻等方式,去除改性区域,形成玻璃通孔。Advanced Pulse on Demand 可精准控制每个脉冲,在准确定位的同时,实现高速加工。

晶圆切割,精准与高速兼得

晶圆切割,精准与高速兼得

采用机械锯切分割晶圆,速度相对较慢。坚硬的晶圆材料还会加快锯片磨损,增加维护需求。

超短激光脉冲受材料特性的影响较小,因此可广泛应用于各种材料去除工艺。凭借高脉冲能量,TruMicro 6000 系列即使面对硅等晶体材料和硬脆材料,也能稳定完成加工。激光采用非接触式加工,无需担心工具磨损。

电力电子导电线路加工

电力电子导电线路加工

您需要对玻璃、铜、金和陶瓷等不同材料的表面进行精密纹理化加工、雕刻或清洗,并赋予其防眩光等特定功能。

TruMicro 6000 系列通过超短脉冲,精准改变表面纹理,赋予材料所需的表面特性。高脉冲能量与出色的能量稳定性相结合,例如可借助光束整形元件,将能量分布到更大面积上。即使在大面积加工过程中,您也能实现较高的加工速度。

通快一手包办整套系统

– 了解适用于该激光器的组件和服务

单凭一台激光器,还不能构成一套解决方案。只有将精密加工头、智能多传感器系统以及配套服务相结合,才能构建出一整套既能支持您应用、又能确保工艺流程稳定性的激光加工系统。通快可为您带来的不仅是激光技术,更是可靠的工艺结果——帮助您的生产实现可量化的进步,并以持续的经济效益回报投资。

通快服务人员交流现场

通快服务可最大限度提升设备可用性

确保您的生产顺利进行

概览

您能承受多少次停机?生产中断会造成时间损失、经济损失,甚至导致客户流失。为确保您激光器与激光系统的长期可用性,我们可为您提供完善周全的服务支持。其中包括预测性状态监控、紧急情况快速支持,以及可根据您需求精确定制且成本可预期的一价全包式服务套餐。

状态监控的关键影像

激光器和激光系统状态监控

在状态监控功能的帮助下,我们的专家团队就可结合通快的自研算法为您持续监控激光器的状态。所以在发生意外停机之前,就可及早发现异常变化,防患于未然。

Condition Monitoring, Servicetechniker repariert Maschine

通快维修服务部

无论您在何处开展生产:一旦出现问题,通快服务工程师都能驰援现场。凭借扎实的技术诀窍和定期培训,他们具备出色的专业技能,能够确保您的激光器和激光系统迅速恢复运转。

远程服务支持

故障发生时分秒必争:有了通快的远程服务支持,您可第一时间获得通快专家的协助——以安全方式远程访问您的设备,无需等待服务工程师到场。

通快维修服务部原装备件的关键影像

原装备件

通快原装备件与您的激光器和激光系统完美匹配,全球可供,并且在紧急情况下也能极速送达。助您实现高性能、少停机、长期投资保障。

通快服务协议关键影像

服务协议

按需配置服务:我们的服务协议提供有分级服务包,可精准契合您的需求,且费用固定并可提前规划。包括远程服务支持、保养乃至全方位服务包各个层级。

性能优化服务

助您将性能发挥至最佳水平

概览

想进一步挖掘生产潜能?数据不透明、需求复杂或突发故障常常会拖累生产。通过结构化数据管理、定制化应用支持和培训以及 AI 辅助工艺优化,我们的解决方案可助您突破瓶颈。这样您就能优化生产流程,降低错误率,并更加灵活地应对新挑战。

面向激光器和激光系统的 Smart View

将所有关键数据尽收眼底:您可通过 Smart View 创建个性化仪表板,并在此精准汇总激光器与激光系统最优运行所需的各项信息与指标——从性能数据、状态信息、能耗乃至程序修改记录一应俱全。

工艺优化

激光应用中心咨询服务

在通快遍布全球的八大激光应用中心,我们可与您携手优化制造工艺,应对特定应用带来的挑战,从而为您实现稳定质量、缩短爬坡期并加速产品上市奠定坚实基础。

激光是否适合您的需求?
让我们一起来找出答案!

在我们的激光应用中心 (LAC),我们将共同为您的应用确定理想参数——我们也乐意直接在您的零部件上进行测试。

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短脉冲和超短脉冲激光器TruMicro 短脉冲和超短脉冲激光器TruMicro
宣传册:TruMicro 6000 宣传册:TruMicro 6000

TruMicro 产品家族对比

产品 TruMicro 6000 系列,产品图

TruMicro 6000 系列

我们的高性能飞秒激光器——助您在批量生产中实现极高通量与去除率
TruMicro 2000 系列

TruMicro 2000 系列

我们的紧凑型超高精度机型——支持精密的微加工,工艺参数灵活可调
TruMicro 9010

TruMicro 9000 系列

我们的开拓者产品——以 1 kW 超短脉冲激光功率实现大面积微加工的突破性方案
平均激光功率 30 W - 200 W 10 W - 20 W 1000 W
波长 343 nm, 515 nm, 1030 nm 515 nm, 1030 nm 1030 nm
光束质量 (M²) < 1.3 (可选配 ≤ 1.2) < 1.2 (<1.3 bei 515 nm) < 1.3
脉冲宽度 < 850 fs (可选配:1030 nm 波长下 < 5 ps,343 nm 波长下 < 500 fs) < 350 fs  (在 1030 nm 波长下,可调节至 20 ps) 1 ps (可选配 1 至 20 ps 范围内的固定脉宽)
最大脉冲能量 2 mJ 在 100 kHz 时 100 µJ 在 200 kHz 时 10 mJ 在 100 kHz 时
脉冲频率 单脉冲最高可达 3 MHz (选配 QCW 功能时可达 50 MHz) 单脉冲最高可达  2 MHz (选配 QCW 功能时可达 50 MHz) 单脉冲最高可达 1 MHz (选配 QCW 功能时可达 50 MHz)

受国别影响,此产品分类与此说明可能有所不同。保留技术、装备、价格与配件范围方面的更改权利。请与您当地的联系人取得联系,以便了解您所在国家是否提供该产品。