TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列

在多种可变的波形下输出最高功率

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双极脉冲技术满足最严苛工艺要求

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列的进程供电是专门针对借助 PVD（物理气相沉积）、PECVD（等离子体增强化学气相沉积）和反应式溅射进程的等离子辅助涂层而研发的。凭借其灵活可塑的输出信号和精湛的电弧管理使最新款发生器的双极脉冲发射器具有广泛用途。无论是半导体和太阳能电池制造还是建筑玻璃涂层，任何情况下都可期待高效涂层质量和涂覆率。

极低电弧能量

全数字化电弧管理确保出色的涂层质量和生产效率。

可调波形

通过输出信号变化轻松适配不同工艺。

一台发生器，多种用途

直流电、被动脉冲式直流电和双极脉冲：得益于多种调整选项可节约成本。

集成的水冷

无需外部部件，因此空间需求极低。

TruPlasma Bipolar 4000 (G2) 系列的典型应用领域：耐磨涂层制造

顶级供电系统

典型应用领域为半导体及光伏生产、建筑玻璃涂层以及质量顶尖的装饰性耐磨涂层制造。此外可特别用于 PVD （物理气相沉积）和 PECVD （等离子体增强化学气相沉积）。

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第 1 对比机型第 2 对比机型（可选）

立即对比

TruPlasma Bipolar 4010 (G2)
TruPlasma Bipolar 4020 (G2)
TruPlasma Bipolar 4030 (G2)
TruPlasma Bipolar 4040 (G2)
TruPlasma Bipolar 4060 (G2)

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输出端
标称功率	10 kW	20 kW	30 kW	40 kW	60 kW
最大输出电流	25 A eff	50 A eff	75 A eff	100 A eff	150 A eff
最高输出电压	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff
标称工作频率	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz
光弧参数
最大光弧比率	20000 1 次/秒	20000 1 次/秒	20000 1 次/秒	20000 1 次/秒	20000 1 次/秒
光弧能量	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW
点火电压
附带助燃	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V
标称连接数据
电源供应器电压	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V
电源频率	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz
功率系数	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95
通信接口
模拟/数字	是	是	是	是	是
RS 232 / RS 485	是	是	是	是	是
PROFIBUS	是	是	是	是	是
Ethercat	是	是	是 -	是	是
DeviceNet	是	是	是 -	是	是
外壳
宽度	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm
高度	178 mm	266 mm	355 mm	355 mm	622 mm
深度	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm
重量	60 kg	60 kg	100 kg	100 kg	160 kg
防护等级 IP	IP40	IP40	IP40	IP40	IP40
冷却要求
冷却介质	水	水	水	水	水
最高水压	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar
最小压差	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar
最小流量	4 l/min	8 l/min	8 l/min	12 l/min	12 l/min
冷却介质温度	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C
通用
总效率	90 %	90 %	90 %	90 %	90 %
周围条件
外部温度	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
空气湿度	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %
气压计压力	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa

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输出端
标称功率	10 kW	20 kW	30 kW	40 kW	60 kW
最大输出电流	25 A eff	50 A eff	75 A eff	100 A eff	150 A eff
最高输出电压	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff	1000 V eff
标称工作频率	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz	20 kHz - 80 kHz
光弧参数
最大光弧比率	20000 1 次/秒	20000 1 次/秒	20000 1 次/秒	20000 1 次/秒	20000 1 次/秒
光弧能量	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW	0.3 mJ/kW
点火电压
附带助燃	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V	2000 V
标称连接数据
电源供应器电压	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V	380 480 V
电源频率	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz	50 Hz - 60 Hz
功率系数	0.95	0.95	0.95	0.95	0.95
通信接口
模拟/数字	是	是	是	是	是
RS 232 / RS 485	是	是	是	是	是
PROFIBUS	是	是	是	是	是
Ethercat	是	是	是 -	是	是
DeviceNet	是	是	是 -	是	是
外壳
宽度	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm	482 mm
高度	178 mm	266 mm	355 mm	355 mm	622 mm
深度	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm	683 mm
重量	60 kg	60 kg	100 kg	100 kg	160 kg
防护等级 IP	IP40	IP40	IP40	IP40	IP40
冷却要求
冷却介质	水	水	水	水	水
最高水压	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar	7 bar
最小压差	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar	3 bar
最小流量	4 l/min	8 l/min	8 l/min	12 l/min	12 l/min
冷却介质温度	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C	20 °C - 35 °C
通用
总效率	90 %	90 %	90 %	90 %	90 %
周围条件
外部温度	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C	5 °C - 45 °C
空气湿度	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %	5 % - 85 %
气压计压力	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa	86 kPa - 106 kPa