新一代高频电源
表面的涂层或结构化的关键在于稳定和可重复的等离子体电源。采用现代电力电子技术的 TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) 系列高频电源为此提供最佳前提条件：得益于其稳定的输出功率与高调节精度，实现高生产效率的同时可确保最佳结果。
CombineLine 技术：凭借 50 欧姆的真实输出阻抗获得最佳工艺流程功率。
无需适配电缆长度——高频范围内绝无仅有的创举！
CombineLine 技术：失调情况下可靠避免反射功率影响。
高达 80 % 的能量转换率能够缩减最多 50 % 的能源成本。
外界空气既不会升温也不会受到污染，因此可实现无尘室内运行。
纯平显示屏镀膜的理想之选
TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) 系列高频电源理想适用于 RIE（反应离子刻蚀）、ALD（原子层沉积）、PECVD（等离子体增强化学气相沉积）和射频溅镀法等等离子体工艺流程。这些工艺主要应用于制造半导体元件和微机械系统 (MEMS) 以及平板显示器和太阳能电池的涂层。
典型应用领域：太阳能行业
TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) 系列的典型应用领域是太阳能行业中要求严苛的 PECVD（等离子体增强化学气相沉积）、刻蚀及高频溅射等工艺。
半导体制造
在半导体制造中，使用不同等离子体工艺，包括通过干法刻蚀的材料去除工艺和用于制备纯硅的区熔法。TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) 系列电源为最佳适配相应工艺的稳定供电系统提供一切前提条件，从而取得出色的可再现结果。
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TruPlasma RF 1000-2/13
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TruPlasma RF 1000-3/13
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| 高频输出端 | ||
| 输出功率 | 2 kW | 3 kW |
| 标称功率 | 2 kW | 3 kW |
| 额定负载阻抗 | 50 Ω | 50 Ω |
| 输出频率 | 13.56 MHz | 13.56 MHz |
| 标称连接数据 | ||
| 电源供应器电压 | 200 - 480 V | 200 - 480 V |
| 电源频率 | 50-60 Hz | 50-60 Hz |
| 电源消耗功率 | 3.1 kVA | 4.3 kVA |
| 功率系数 | 0.95 | 0.95 |
| 通信接口 | ||
| 同步接口 | 是 | 是 |
| 模拟/数字 | 是 | 是 |
| RS 232 / RS 485 | 是 | 是 |
| PROFIBUS | 是 | 是 |
| Ethercat | 是 | 是 |
| DeviceNet | 是 | 是 |
| 外壳 | ||
| 重量 | 18 kg | 18 kg |
| 防护等级 IP | 30 | 30 |
| 冷却要求 | ||
| 最高水压 | 7 bar | 7 bar |
| 最小压差 | 1.1 bar | 1.1 bar |
| 最小流量 | 4 l/min | 4 l/min |
| 冷却介质温度 | 5 °C - 35 °C 1 | 5 °C - 35 °C 1 |
| 通用 | ||
| 总效率 | 80 % | 80 % |
| 认证书/标准 | Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs | Semi S2, SEMI F47,UL, CSA,CE, RoHs |
| 周围条件 | ||
| 外部温度 | 5 °C - 40 °C | 5 °C - 40 °C |
| 空气湿度 | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % |
| 气压计压力 | 79.5 kPa - 106 kPa | 79.5 kPa - 106 kPa |
所有产品款型的技术数据以供下载。
优化适配您的进程
TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13) 系列的智能实时匹配确保快速直接的 50 欧姆阻抗适配。通过已获专利的 CombineLine 技术可靠防止等离子体波动和污染，而无风扇冷却设计则降低故障率，提高效率，并实现无尘室内使用。
最高效率与灵活性
得益于高达 80 % 的能量转换率，与常规发生器相比，可将您的能源成本降低最多 50 %。众多可用接口（可配置模拟接口、RS 232/485、DeviceNet、PROFIBUS、EtherCAT）简化现有设备中的集成，得益于内置的超宽范围电源（200-480 VAC）无需技术适配。高功率密度的紧凑结构形式（19 英寸或 ½-19 英寸插入式装置）允许以节省空间的方式集成至任一生产设备中。
通快 SystemPort
SystemPort 通过直接测量阻抗匹配器输入端和输出端上的 RF 信号，形成闭环控制回路。RF 电源可使用所有测量值。由此实现更好的工艺流程参数监测，保护阻抗匹配器并确保及早识别电弧。可通过单一的电源接口控制整个 RF 系统。
各种选项可以实现高频电源根据应用进行最佳适配。
精湛的电弧管理是适用于最佳等离子体工艺流程控制的理想模块。有针对性的电弧识别确保最高生产效率，同时保护产品与设备。
已获专利的自动频率调谐解决方案能够快速同步适配频率，确保电源与阻抗匹配器之间的最佳协作。凭借已获专利的该项技术，局部最小化已非阻碍：RF 系统达到最佳状态，从而实现最佳工艺流程结果和高度可重复性。
通快 RF 系统的所有组件相互最佳协调。
TruPlasma Match 阻抗匹配网络确保从电源至等离子体放电装置的最佳功率传输。阻抗匹配器可独立运行或经由电源与阻抗匹配器的智能连接（即所谓的 SystemPort）实现运行。
凭借主振荡器可稳定和优化关键的同步等离子体过程。集成式数字频率与相位合成器确保高频率与相位稳定性，可以实现按照极小的步幅调整相位。可选择用于 13.56 MHz 频率以及各种频率组合的不同规格主振荡器。
高频转换器允许在不同等离子体进程工站多次使用高频电源，例如用于给连续过程或具有不同馈电点的系统供电。提供两种功率级别以及具有 2、3 或 4 个输出端的不同高频转换器。
为实现高频功率传输，通快 Hüttinger 提供专门设计用于在 50 欧姆系统下工作的同轴电缆。
彼此完美协调：通快 RF 系统
等离子体工艺就像一个复杂可变的负载，必须通过发生器为其不断供电。这项工作由有源匹配网络（所谓的阻抗匹配器）来完成，确保随时精确匹配 50 Ω 的最佳阻抗。由此形成相互完美协调的系统解决方案——通快 RF 系统。通过不同接口（如 EtherCAT）可十分轻松地将电源和阻抗匹配器集成至现有工艺环境之中，并通过电源与阻抗匹配器的智能连接（即所谓的 SystemPort）形成经优化的系统解决方案。
受国别影响，此产品分类与此说明 可能有所不同。保留技术、装备、价格与配件范围方面的更改权利。 请与您当地的联系人取得联系，以便了解您所在国家 是否可提供该产品。
脚注-
冷却水温度必须超过室温的露点，以避免产生冷凝。
