新一代紧凑型直流电源
TruPlasma DC 3000 (G2) 系列适合众多直流溅射工艺——也可作为脉冲式工艺电源的替代品。因为有先进的电弧管理为最佳涂层质量和显著提升的成品率提供保障。由于特别紧凑的结构，该水冷式直流电源可非常方便地集成到现有应用之中。
残余能量 < 0.3 mJ/kW 确保最佳涂层质量和高沉积速率。
结构极为紧凑（19 英寸插入式装置），从而在确保更大功率的同时实现轻松集成。
输出功率从 20 kW 至 300 kW 不等，因此能够替代更为庞大的电源。
实现较长的系统运行时间，并减少维护工作。
可变电源电压（400 V 至 480 V）以及各种不同的数据接口。
硬质镀膜
通过借助直流磁控溅射施加功能性涂层，承受强大负荷的工件获得更高的表面硬度和静摩擦力以及更好的热稳定性与化学稳定性。TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流电源确保稳定的等离子体工艺和最佳涂层质量。
金属喷镀
借助 PVD 工艺可将薄如蝉翼的金属涂层施加到不同材料上，以赋予其极佳的光学与电气特性。与工艺参数最佳适配的电源实现绝对均匀、毫无缺陷的涂层沉积。
太阳能电池制造
为了影响电气特性，需要给太阳能电池、纯平显示屏及触摸屏镀膜导电材料 (TCO)。由于其电弧残余能量极少，TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流电源对此极为适合。
建筑玻璃
在直流溅射工艺中，大面积建筑玻璃镀膜对工艺电源提出了极高要求。TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流电源为取得高质量的镀膜成果提供理想前提。
TruPlasma DC 3020 (G2) 产品对比 |
TruPlasma DC 3030 (G2) 产品对比 |
TruPlasma DC 3040 (G2) 产品对比 |
TruPlasma DC 3060 (G2) 产品对比 |
TruPlasma DC 3080 (G2) 产品对比 |
TruPlasma DC 3120 (G2) 产品对比 |
TruPlasma DC 3160 (G2) 产品对比 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 输出端 | |||||||
| 标称功率 | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 W | - | - | - |
| 最大输出电流 | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff | - | - | - |
| 最高输出电压 | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | - | - | - |
| 光弧参数 | |||||||
| 最大光弧比率 | 8000 1 次/秒 | 8000 1 次/秒 | 8000 1 次/秒 | 8000 1 次/秒 | - | - | - |
| 光弧能量 | <0.3 mJ/kW | <0.3 mJ/kW | <0.3 mJ/kW | <0.3 mJ/kW | - | - | - |
| 光弧处理时间 | <0.1 µs | <0.1 µs | <0.1 µs | <0.1 µs | - | - | - |
| 点火电压 | |||||||
| 附带助燃 | 1500 V | 1500 V | 1500 V | 1500 V | - | - | - |
| 不带助燃 | 1000 V | 1000 V | 1000 V | 1000 V | - | - | - |
| 标称连接数据 | |||||||
| 电源供应器电压 | (±10%) 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | - | - | - |
| 电源频率 | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | - | - | - |
| 通信接口 | |||||||
| 模拟/数字 | 是 | 是 | 是 | - | - | - | - |
| RS 232 / RS 485 | 是 | 是 | 是 | - | - | - | - |
| PROFIBUS | 是 | 是 | 是 | - | - | - | - |
| Ethercat | 是 | 是 | 是 | - | - | - | - |
| DeviceNet | 是 | 是 | 是 | - | - | - | - |
| 外壳 | |||||||
| 重量 | 45 kg | 65 kg | 65 kg | - | - | - | - |
| 防护等级 IP | 40 | 40 | 40 | - | - | - | - |
| 冷却要求 | |||||||
| 冷却介质 | 水 | 水 | 水 | - | - | - | - |
| 最高水压 | 7 bar | 7 bar | 7 bar | - | - | - | - |
| 最小压差 | 1.5 bar | 1.5 bar | 1.5 bar | - | - | - | - |
| 最小流量 | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | - | - | - | - |
| 冷却介质温度 | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | - | - | - | - |
| DC 连接数据 | |||||||
| 终端数量 | 3 | 3 | 3 | - | - | - | - |
| 标称电流/终端 | 35 A | 53 A | 53 A | - | - | - | - |
| 通用 | |||||||
| 总效率 | 90 % | 90 % | 90 % | - | - | - | - |
| 认证书/标准 | CE | CE | CE | - | - | - | - |
| 周围条件 | |||||||
| 外部温度 | 5 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | - | - | - | - |
| 空气湿度 | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | - | - | - | - |
| 气压计压力 | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | - | - | - | - |
TruPlasma DC 3020 (G2)
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TruPlasma DC 3030 (G2)
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TruPlasma DC 3040 (G2)
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TruPlasma DC 3060 (G2)
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TruPlasma DC 3080 (G2)
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TruPlasma DC 3120 (G2)
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TruPlasma DC 3160 (G2)
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|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 输出端 | |||||||
| 标称功率 | 20 kW | 30 kW | 40 kW | 60 W | - | - | - |
| 最大输出电流 | 50 A eff | 75 A eff | 100 A eff | 150 A eff | - | - | - |
| 最高输出电压 | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | 1000 V eff | - | - | - |
| 光弧参数 | |||||||
| 最大光弧比率 | 8000 1 次/秒 | 8000 1 次/秒 | 8000 1 次/秒 | 8000 1 次/秒 | - | - | - |
| 光弧能量 | <0.3 mJ/kW | <0.3 mJ/kW | <0.3 mJ/kW | <0.3 mJ/kW | - | - | - |
| 光弧处理时间 | <0.1 µs | <0.1 µs | <0.1 µs | <0.1 µs | - | - | - |
| 点火电压 | |||||||
| 附带助燃 | 1500 V | 1500 V | 1500 V | 1500 V | - | - | - |
| 不带助燃 | 1000 V | 1000 V | 1000 V | 1000 V | - | - | - |
| 标称连接数据 | |||||||
| 电源供应器电压 | (±10%) 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | 3x 360 V - 528 V | - | - | - |
| 电源频率 | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | 50 Hz - 60 Hz | - | - | - |
| 通信接口 | |||||||
| 模拟/数字 | 是 | 是 | 是 | - | - | - | - |
| RS 232 / RS 485 | 是 | 是 | 是 | - | - | - | - |
| PROFIBUS | 是 | 是 | 是 | - | - | - | - |
| Ethercat | 是 | 是 | 是 | - | - | - | - |
| DeviceNet | 是 | 是 | 是 | - | - | - | - |
| 外壳 | |||||||
| 重量 | 45 kg | 65 kg | 65 kg | - | - | - | - |
| 防护等级 IP | 40 | 40 | 40 | - | - | - | - |
| 冷却要求 | |||||||
| 冷却介质 | 水 | 水 | 水 | - | - | - | - |
| 最高水压 | 7 bar | 7 bar | 7 bar | - | - | - | - |
| 最小压差 | 1.5 bar | 1.5 bar | 1.5 bar | - | - | - | - |
| 最小流量 | 4 l/min | 8 l/min | 8 l/min | - | - | - | - |
| 冷却介质温度 | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | 20 °C - 35 °C | - | - | - | - |
| DC 连接数据 | |||||||
| 终端数量 | 3 | 3 | 3 | - | - | - | - |
| 标称电流/终端 | 35 A | 53 A | 53 A | - | - | - | - |
| 通用 | |||||||
| 总效率 | 90 % | 90 % | 90 % | - | - | - | - |
| 认证书/标准 | CE | CE | CE | - | - | - | - |
| 周围条件 | |||||||
| 外部温度 | 5 °C | 5 °C - 45 °C | 5 °C - 45 °C | - | - | - | - |
| 空气湿度 | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | 5 % - 85 % | - | - | - | - |
| 气压计压力 | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | 860 kPa - 1060 kPa | - | - | - | - |
所有产品款型的技术数据以供下载。
脉冲式电源的低成本替代品
凭借其开拓性的电弧管理，TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流电源经受住许多溅射工艺的考验。作为脉冲式电源的低成本替代品，它们同样提供显著提升的成品率。
在较高功率下的紧凑型替代品
尽管其结构非常紧凑，TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流电源仍能在涂层质量与生产效率上胜过更为庞大的电源。即使在超过 60 kW 的大输出功率下，它们也是可方便集成的紧凑型替代品。
实现较长系统运行时间的水冷装置
TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流电源配备了全水冷装置。相比于带有风冷装置的设备，可增加系统运行时间，同时减少维护工作并防止吸入灰尘颗粒造成污染。
不同选项使直流电源以最佳方式适配您的应用。
多台 TruPlasma DC 3000 (G2) 系列直流电源可同步运行。对于指向不同目标的多台电源，该模式能够实现电弧同步识别。脉冲模式也可同步。如需大输出功率，也可并联多达 5 台 TruPlasma DC 3030 的电源。它们将作为 TruPlasma DC 3150 单元运转。
水阀控制系统通过调节冷却水流量避免凝结，同时防止电源过热。
EtherCAT 及 EtherNET/IP 接口方便 TruPlasma DC 3000 (G2) 系列融入到现有设备之中。
PVD Power
多语种软件 PVD Power 用户界面易操作，提供多方面的操作、配置及诊断方法，以此优化工艺质量和有效排除故障：显示所有相关工艺参数的实际值以及警告和报警消息、由操作员规定目标值和以较高的时间分辨率记录重要运行参数并进行可视化（示波器功能）。
受国别影响，此产品分类与此说明 可能有所不同。保留技术、装备、价格与配件范围方面的更改权利。 请与您当地的联系人取得联系，以便了解您所在国家 是否可提供该产品。
