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直流等离子体电源 | TRUMPF
直流等离子体电源工艺图

直流等离子体电源

通快霍廷格直流等离子体电源是等离子体激发的经典之作。它主要应用于单阴极系统,同时还用于太阳能电池和半导体上涂覆导电性涂层以及极化基质。作为高性价比的入门级等离子体激发工艺,直流电源如今已在众多应用中投入使用。

TruPlasma DC 3040 直流电源

TruPlasma DC 3000 (G2) 系列

作为新一代直流电源,TruPlasma DC 3000 (G2) 系列适合众多直流溅射工艺。得益于先进的电弧管理和集成水冷装置,该款直流电源同样可用作脉冲式直流电源的高性价比替代方案。此外,极其紧凑的结构使其方便集成至现有应用中。

TruPlasma Arc 3000 系列电弧电源

TruPlasma Arc 3000 系列

TruPlasma Arc 3000 系列电源主要用于硬质镀膜和装饰镀膜。通过紧凑型结构和空气冷却装置,确保充分利用宝贵的有效面积并方便集成至新系统或现有系统之中。

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