Надежный, сверхмощный полупроводниковый генератор для плазмы максимальной плотности и самых строгих требований к технологии
Генераторы TruPlasma серии MW базируются на технологии полупроводников и имеют намного более высокую точность поддержания частоты, чем микроволновые генераторы на базе магнетронов. Инновационная платформа позволяет более эффективно и рентабельно получать плазму максимальной плотности с соблюдением самых строгих требований к технологии. Кроме того, модульная система позволяет точное линейное измерение мощности на выходе. При этом энергопитание отличается стабильностью и это не оказывает негативного влияния на качество процесса. В производстве полупроводников, солнечных батарей и дисплеев TruPlasma серии MW показывает наилучший результат и максимальную надежность благодаря самым современным функциям.
Инновационная подача импульсов в наносекундном диапазоне обеспечивает наилучший технический контроль производства плазмы.
Автоматическая настройка по частоте гарантирует оптимальный результат и высокую воспроизводимость.
В многоантенных системах могут синфазно работать и запускаться импульсами различные генераторы. Колебание соотношений фаз между отельными генераторами позволяет добиться однородности плазмы на большой площади.
Положитесь на надежную работу генераторов — даже при неверной регулировке качество процессов не ухудшится.
Получайте преимущества от высокоточной цифровой частотной модуляции, благодаря которой возможны получение воспроизводимых результатов, слоев высокого качества и высокой производительности.
С помощью цифрового интерфейса EtherCat устройство можно отрегулировать в течение миллисекунды. Это способствует точности распределения частиц плазмы.
Производство фотоэлементов
В области фотоэлектрической энергетики плазменные процессы, такие как ионно-плазменное распыление и плазмохимическое газофазное осаждение используются для нанесения и удаления материала. Генераторы серии TruPlasma MW быстро адаптируются под различные процессы и гарантируют высокую производительность и первоклассные результаты. Благодаря точному дозированию энергии наилучшие результаты достигаются даже при решении самых сложных современных задач. При этом за счет высокоточной регулировки мощности становится возможной наилучшая воспроизводимость — «пластина к пластине».
Производство полупроводников
Генераторы плазмы применяются в различных плазменных процессах при производстве полупроводников — от сухого травления до зонной плавки при производстве кремния. Наша серия TruPlasma MW включает оптимизированные системы электропитания для всех этих процессов
Покрытия для плоских дисплеев
В процессе нанесения покрытия на плоские дисплеи генераторы TruPlasma MW демонстрируют свои преимущества в таких плазменных процессах, как плазмохимическое газофазное осаждение, атомно-слоевое осаждение и реактивное ионное травление.
В зависимости от страны, возможны отклонения от представленного ассортимента продукции и этих данных. Компания оставляет за собой право на внесения изменений в технологию, оснащение, цену и принадлежности. Свяжитесь с вашим контактным лицом, чтобы узнать, доступен ли данный продукт в вашей стране.
